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SiC晶圓
激光退火 | LA
SiC晶圓激光退火 | LA
應用領域
SiC晶圓歐姆接觸制備
產品特點
  • 國內首家通過量產驗證

  • 成熟穩定、可靠性好

  • 全自主光學系統,LIET專利光學整形技術

  • 綠光、紫外兩種波長可選

型號LA2515UVLA2540/2550S
晶圓尺寸6寸、8寸
光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
氧含量控制≤10ppm